Quando si crea un "resistore termico", generalmente si fa passare una striscia di polisilicio per una certa distanza attraverso lo stampo. Non posso parlare per il 68060; tuttavia, quando progetto semiconduttori ho un'area che assomiglia a un + nel mezzo dell'IC per la distribuzione dell'alimentazione, l'albero H del clock. In genere eseguo solo una striscia di polietilene, o M1 con ben legami in questo stesso spazio. Dipende dal processo e dalle regole.

Ho allegato una foto di un circuito integrato che ho fatto che era 6 mm x 4 mm. C'è un resistore che attraversa M1 che era 1K che dovrebbe cambiare 5ohm / degC. Una cosa da menzionare è che questo 1K è nominale, come il tuo numero di 780ohm. La resistenza può variare leggermente con l'incisione tra le esecuzioni.

Se guardi in giro sul web, MOSIS pubblicava risultati dei test che ti danno ohm / quadrato per M1, poly, ecc. Puoi usarli per determinare cosa sarebbe meglio per un'applicazione specifica.

Non è chiaro come sia fatto il termistore, ma questo è praticamente irrilevante. Indipendentemente da ciò, la citazione che hai elencato stabilisce quasi tutto ciò che devi sapere.

Il circuito più semplice presuppone che tu abbia un riferimento di tensione stabile conveniente. Quindi puoi fare

^{simulare questo circuito - Schema creato utilizzando CircuitLab}

Scegli l'intervallo di tensione rispetto alla temperatura selezionando la tensione di riferimento e il valore di R1. Per un dato valore Rt del termistore, la tensione di uscita $$ V = (\ frac {Vt} {Vt + R1}) VREF $$ Se hai un VREF fornito dal convertitore A / D che corrisponde al fondo scala, un un punto di partenza decente sarebbe impostare R1 alla resistenza del termistore corrispondente a una temperatura nominale del chip come 60 gradi C.

Quel circuito ha una leggera difficoltà: la tensione che produce non è lineare rispetto alla temperatura, sebbene questo non è necessariamente un problema, poiché è possibile calcolare in anticipo i risultati attesi e quindi trovare la temperatura che corrisponde alla misurazione.

Un circuito un po '"migliore", o almeno uno più facile da interpretare, utilizza un amplificatore operazionale (o due) e ha l'aspetto

^{simula questo circuito}

In questo circuito, R1 e VREF producono una corrente costante che, spinta attraverso il termistore, produce una tensione. Tuttavia, questa tensione è negativa, motivo per cui avrai bisogno di un V- per gli op anps. Il secondo op anp inverte il segnale per portarlo positivo, mentre il rapporto tra R2 e R3 aggiunge ulteriore guadagno. Infine, R4 produce un offset in modo che il circuito possa essere regolato per produrre 0 volt per qualsiasi temperatura desiderata.

L'unico sconosciuto in questi circuiti è la corrente che il termistore può gestire. Consiglierei circa 1 mA come obiettivo. Regola le resistenze di conseguenza.

Probabilmente è uno strato specifico nel chip che ha una resistenza variabile con la temperatura. Nota che a 25 ° C, probabilmente anche i chip di differenza avranno resistenze di differenza, quindi dovrai calibrare il tuo sistema.

Il modo più semplice per misurare è usare una R fissa (1k dovrebbe essere un buon punto di partenza ) tra alimentazione e uno di questa R, e collegare l'altra estremità a GND. Misurare il divisore di resistenza risultante con un ADC. Dovrai calcolare le equazioni per ADC -> Temperatura.